SIGMAKOKI/西格瑪光光學(xué)分辨率檢驗(yàn)板

此產(chǎn)品是把Romchi Ruling平行圖案,楔形波規(guī)律圖案與USAF光學(xué)分辨率檢驗(yàn)板收存到一張里的檢驗(yàn)板。

確定或確認(rèn)光學(xué)系統(tǒng)的性能或攝像鏡頭分辨率時(shí)使用。

每1 mm的線對(duì)數(shù)每隔7級(jí)_加一倍。(線對(duì)由一條暗部與一條亮部構(gòu)成。)

USAF光學(xué)分辨率檢驗(yàn)板包括正片和負(fù)片兩種類型。

Ronchi Ruling

① ? ? 平行圖案

圖案間平行度 ≦ 2″

對(duì)于基板的圖案平行度 ±1°

編 號(hào)	LP/mm	圖案長(zhǎng)度(mm)
①	2.5	100
②	5	100
③	10	100
④	25	100
⑤	50	86
⑥	71.4	86
⑦	100	86
⑧	125	86
⑨	166.7	40
⑩	200	40
?	250	40

? 楔形波規(guī)律圖案

空間頻率 0.19?57.5LP/mm

線寬 0.009?2.63mm

楔角 5°

SIGMAKOKI/西格瑪光光學(xué)分辨率檢驗(yàn)板

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